1179A00452CS1AV 現貨
流量比例控制器(通用型)
1179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重複性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。
對於當今市場上的質量流量控制器,1179A可作為直接替代的產品,標準的3英吋底座使1179能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。
技術參數:
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
控制量程:2% to 100%的全量程。
測量精度:全量程的1%
靈敏度:全量程的0.1%
熱機時間:小於2Min.
響應速度:小於2Sec.
輸入電壓:±15VDC@100ma
輸出電壓:0-5VDC
連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數字:RS485或Device net或Profibus
法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材質:316不鏽鋼。
質保期:有限保修自售出之日起12個月。
例:型號1179A00411CR1A5VXX 採購序列號
校準氣體(SEMI氣體編號)*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015